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产品
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溅射靶材
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陶瓷靶材
> ITO靶材
产品名称 :
ITO靶材
型号 :
202194211722
材质 :
In2O3+SnO2
规格 :
φ25, φ50, φ60, φ76 φ80 φ100mm
密度 :
>98%
折射率 :
电阻率≤0.25mΩ·cm
外观 :
圆片
纯度 :
4N
应用 :
用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜等
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产品详细:
ITO靶材的生产工艺
1.热等静压法
2.热压法
3.烧结法
常规配比:In2O3:SnO2=90:10wt%,95:5wt%
致密度:>99%
失氧率:<2%
抗折强度:125MPa
电阻率≤0.25mΩ·cm
线膨胀系数:5×10-6K-1
相结构:单一In2O3相
形状规格:按用户要求加工
颜色:灰黑色
包装:铝箔袋真空包装
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