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产品名称 : 氧化钛旋转靶

型号 : 202193115125

材质 : 钛氧化物

规格 : ø355,6 x 10 mm ; L4000mm 或根据客户要求

密度 : >80%

折射率 : 2.35

外观 : 管状, 圆片

纯度 : 4N

应用 : TP、TFT-LED、OLED、Optical

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产品详细:

化学式为TiOx，其中x在1.68—1.80之间。

制备方法: 将原料钛氧化物和Ti按TiOx配料混合均匀；采用热压成型或冷压成型方式成型，制成所需的形状；将材料放于坩埚或专门的工装中，转移至真空烧结炉内，对整个系统抽真空，并升温至1400～1800℃，最高温时保持2～8小时后，开始冷却，制备得钛氧化物材料。

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