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IGZO靶材
IGZO靶材 IGZO靶材
产品名称 : IGZO靶材
型号 : 202199144031
材质 : In2O3+Ga2O3+ZnO
规格 : φ25-100mm * 3-6mm thickness; or L300-700mm
密度 : 相对密度≥99%
折射率 : 
外观 : 蓝灰色块状, 旋转靶材
纯度 : 3N5, 4N
应用 : TFT
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  产品详细:
IGZO(InGaZnO)靶材

组成比例In2O3: ZnO(%wt) =90: 10/70:30
 

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